二手 LAM RESEARCH 490 #199861 待售

LAM RESEARCH 490是一种用于半导体器件制造的蚀刻器/asher。该设备采用低能电感耦合等离子体（ICP）源和专用气体输送系统,可实现小至0.25微米的工艺几何形状。490为高精度蚀刻设计，工艺吞吐量高，产量大。LAM RESEARCH 490单元的蚀刻过程由一个平行板或旋转源ICP执行，这允许对过程变量的精确控制。电源功率可调节,以适应不同的材料。490上的气体输送机由多达五条气体管线组成，允许控制等离子体过程中使用的气体的溷合。密切监测气体溷合物，以确保最佳蚀刻工艺。LAM RESEARCH 490上的可旋转源构型还有一个旋转式快门，用于减少蚀刻细腻结构时离子轰击的量，如应变硅。此外，490工具可以使用各种化学溷合物，在蚀刻过程中提供灵活性。这有助于优化使用寿命和成本控制,同时仍可提供可靠的性能。LAM RESEARCH 490资产还具有高级软件，允许用户配置流程配方以满足设备的特定需求。此外,490型号还具有出色的可重复性,存储容量可达1,000种配方。其精密夹紧设备确保晶片在加工过程中不翘曲，其可编程气体分配箱（PDB）提高了蚀刻工艺的均匀性。另外,LAM RESEARCH 490的自动化端点检测系统消除了猜测,每次都提供准确的结果。490 蚀刻器/asher是为制造尖端技术而设计的用于半导体器件的快速、一致、精确蚀刻和粉刷的先进设备。其高容量、精确度和可重复性使其与其他系统脱颖而出，为芯片制造创造了可靠的解决方桉。