二手 LAM RESEARCH 490 #293604249 待售

LAM RESEARCH 490是一种等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）装备的Asher/Etcher,专为提高吞吐量、灵活性和可靠性而设计。这款坚固的加工工具具有267毫米x 267毫米晶圆尺寸、1.6毫巴底压和7kW负载锁/高容量负载锁/加工室。高速热处理配置为在30°C至250°C之间运行,具有多达13组可编程的配方和工艺参数,具有4个沉积头和5个蚀刻室。490采用先进技术构建,以确保一致、可重复的处理结果。它的自动斜率特性最大程度地减少了晶片在热循环过程中在腔室中的错位，重新设计的晶片处理系统使得晶片检索对于操作员来说更加容易。该蚀刻机还提供用于溅射/蚀刻沉积和蚀刻应用的多频射频基板电源，以及先进的谐波阻抗源匹配技术，以实现更大的处理控制。LAM RESEARCH 490还具有灵活的设计功能,使客户能够根据特定的基材类型、应用、质量规格和沉积要求定制其工艺配方。集成的加热器和集成的冷却端口分别提供均匀的加热和冷却，以提高工艺均匀性。490还提供高级炮塔管理以简化操作,例如多炮塔和Macrobatch功能以及高级系统监控和诊断功能。此外,配备PECVD的asher/etcher利用高级基于Web的GUI来减少用户交互、设置和配置时间。它具有直观的显示功能,可简化编程并降低手动操作的复杂性。该设计还有助于提高系统稳定性和最大程度地减少停机时间。总体而言,LAM RESEARCH 490是一款高效而坚固的PECVD设备,其asher/etcher工具经过精心设计,可实现卓越的处理,并具有可预测和可重复的结果。其先进的技术功能使客户能够达到最高水平的吞吐量、灵活性和可靠性。