二手 LAM RESEARCH 490 #293605750 待售

LAM RESEARCH 490是一种坚固的asher/etcher设备,具有多种功能,旨在以高精度和重复性简化蚀刻晶片的过程。该系统配有一个可旋转和倒置的基座表，能够方便地访问晶圆的两侧，以获得最佳的蚀刻精度。此外，该单元还能够根据晶圆高度差异进行调整，从而确保在晶圆的整个表面上具有一致的蚀刻模式。490包括确保最佳蚀刻温度的精密温度控制算法和改进反应气氛控制的自动氮处理机。这两个元素的组合可以提高质量和产量,以及延长刀具的使用寿命和稳定性。LAM RESEARCH 490还包含许多用户友好功能,包括图形用户界面 （GUI）用于有效的晶片跟踪和程序参数设置,用于处理过程中晶片与压板接触的对准工具,允许自动转移和加载晶片进出蚀刻室的机器人晶片传输资产,以及专用的条形码读取器,以提供更多的便利。490还配备了强大的真空模型,能够在不到90秒的时间内将加工室排空至24 mbar,帮助确保快速、准确地实现所需的工艺环境。此外,LAM RESEARCH 490还包含一系列版本控制的软件包,有助于简化许多蚀刻过程步骤以提高效率。综上所述,490是一种坚固的灰化器/蚀刻器设备,具有多种特点,可帮助提高产量、提高工艺重复性和准确性,并最大限度地减少晶圆转移和蚀刻室疏散等耗时任务。该系统是许多蚀刻应用的可靠且经济高效的替代方桉。