二手 LAM RESEARCH 490 #293616826 待售

LAM RESEARCH 490是用于制造半导体器件的先进蚀刻器/asher。蚀刻器/asher是为高长宽比蚀刻而设计的，由多区域处理室组成，该室是群集工具体系结构的一部分。多区加工室具有石英壁，便于整个基板上的区域均匀性。490的第一个区域是晶圆转换区，它使用机器人将晶圆从载荷站转换成腔室。然后将晶片搅拌成温和但一致的聚合物珠和蚀刻剂溷合物，以提供均匀的蚀刻速率。蚀刻器/asher的第二个区域是利用感应耦合等离子体（ICP）来增加蚀刻速率和过程均匀性的等离子体区域。ICP配备了先进的电弧控制设备，以确保对等离子体的精确控制。腔室的第三个区域容纳一个化学气相沉积（CVD）系统，用于进行选择性二氧化硅蚀刻。第四个区域是在蚀刻过程完成后冷却墙壁和基板的冷却和排气区域。腔室的第五区是排气区，排出蚀刻蒸气和蚀刻过程中产生的任何其他气体。LAM RESEARCH 490 蚀刻器/asher能够产生高长宽比开口，在基板上均匀蚀刻。其先进的电弧检测单元确保了对等离子体的精确控制，而CVD机提供了更高的蚀刻选择性和改进的工艺均匀性。此外，冷却和排气区有助于减少基板失真，并有助于保持在多个基板上一致的蚀刻速率。