二手 LAM RESEARCH 490 #293657950 待售
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LAM RESEARCH 490是一种蚀刻器/asher,旨在促进高效、经济高效的半导体器件制造。490专为生产和研究应用而设计，提供高吞吐量和可重复的过程控制，可以量身定制以满足特定需求。工艺室为圆柱形，分两级，由下部加热机理和上部反应室组成。自动晶圆传输设备便于晶圆在两个腔室之间传输。下室有一个石英敏感器耦合到一个气体处理系统，允许控制输送过程气体。气体通过多气体歧管输送，可用于制造等离子体。上层反应室包含一个用于灰化操作的冷却截面。LAM LAM RESEARCH 490专为单晶片操作而设计,可配置各种特定于工艺的组件,包括晶片处理程序、气源、基础压力表、光发射光谱、腔室压力表、沉积头或淋浴、工艺垫圈和车载诊断。它还可以配备排气洗涤器，加上压力控制回路，以及额外的安全特性。LAM 490的设计旨在提供对硅半导体基板的精确蚀刻和灰化,具有高质量的特性和对工艺参数的严格控制。它允许可重复的质量保证和优化,可以针对特定的客户需求进行定制。还可通过控制单元获得自我监测能力，用于监测蚀刻材料或灰泥材料的质量。LAM LAM RESEARCH 490也可用于低碱性灰化，这是一种创新的蚀刻工艺，利用热和等离子体的综合效应，产生最小残留污染的高性能蚀刻结果。也可用于低碱性金属蚀刻，金属嵌入等离子体，减少污染，达到可重复蚀刻的效果。LAM 490 蚀刻器/asher是一种坚固的机器，用于蚀刻和粉刷各种半导体器件。该工具的功能,加上其多用途的功能,使其成为从工艺开发到设备制造的各种应用程序的绝佳选择。
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