二手 LAM RESEARCH 490 #293747959 待售

LAM RESEARCH 490是一款热蚀刻设备，旨在提供业界最优质的蚀刻图桉和最佳的蚀刻工艺控制。490采用反应性离子蚀刻（RIE）技术，将底物表面与经过准直、严格控制的反应性气体等离子体结合起来，从涂层中去除目标材料。LAM RESEARCH 490集成了众多关键技术以及许多用户友好的软件功能,以提供精确、可重复的性能和无与伦比的速度的高度可靠的系统。490具有LAM获得专利的PitchScanTM自动清洗功能,无需手动清洗颗粒。PitchScan可以检测和清除小至4 µm的颗粒，大大减少基板表面的污染。该单元还使用最新的称为图像增强的技术来提高蚀刻图桉的清晰度、分辨率和特征定义。此外,LAM RESEARCH 490先进、功能齐全的光学组件具有改变脉冲、能量和光束宽度的能力。490接受直径最大为8英寸的基板,同时保持相同的取样聚焦精度。LAM RESEARCH 490凭借其先进的温度控制机,提供了出色的刀具-刀具均匀性和蚀刻图样的可重复性。为确保高吞吐量,490配备了多种配方设置,能够执行各种蚀刻过程。LAM RESEARCH 490还配备了扭转器和快门工具，以尽量减少细胞间的变化。为了进一步改善对蚀刻工艺的控制，490具有先进的气体自调谐功能。此自调整功能能够自动检测每个配方的最佳设置,以确保最高质量的蚀刻模式。而且，LAM RESEARCH 490直观的用户界面为用户提供了蚀刻过程结果的实时反馈。总体而言,490结合了许多关键技术和软件功能,提供了符合蚀刻性能和过程控制最高标准的先进工具。