二手 LAM RESEARCH 490 #293771117 待售

LAM RESEARCH 490，又称蚀刻asher，是为等离子体蚀刻和钝化半导体材料而设计的设备。它可用于在各种基板中产生定制的复杂特征,同时实现非常高的准确性、可重复性和过程控制。490利用等离子体技术在基板上蚀刻和沉积材料薄层，形成一个鲜明的蚀刻图样。该系统可用于各种材料，如硅、砷化氙和氧化铝。该单元包括电子回旋共振（ECR）等离子体源、射频（RF）电源以及控制反应室温度的冷却器。ECR等离子体源允许高度均匀的等离子体，确保底物所有区域的蚀刻深度均匀，而RF电源提供启动过程和调节等离子体参数所需的动力，以确保正确的蚀刻速率。温度控制进一步有助于确保结果一致。LAM RESEARCH 490提供了几项功能,使其能够准确、高精度地执行各种蚀刻任务。例如,机器配备了自动调谐功能,可方便地优化和控制加工基板类型的工艺参数。此外，该工具还包括一个传感器资产，用于监测和调节压力、温度和电场等关键变量。此反馈循环有助于确保流程以最佳效率运行。该型号还包括种类繁多的可互换组件和附件，允许与各种材料和应用一起使用。其中包括晶圆提升设备、端部效应器、热卡盘和用户可编程蚀刻速率。此外，490还可以配备自动放大器，使其能够连续处理多个晶片。综上所述，LAM RESEARCH 490是一种蚀刻系统，旨在为各种基板提供定制的、复杂的特征。它配备了ECR等离子体源、RF电源、自动调谐功能、传感器单元、晶圆升降机、端效应器、热卡盘和用户可编程蚀刻速率，以确保精度、重复性和过程控制。此外,自动放大器允许工具连续处理多个晶片。