二手 LAM RESEARCH 490 #293778205 待售

LAM RESEARCH 490，又称Echer/Asher，是一种用于半导体工业的先进蚀刻和灰化设备。490 Etcher/Asher为半导体器件的关键蚀刻和灰化过程提供了卓越的速度、精度和可靠性。这一行业领先的系统能够处理直径达200毫米的晶片，能够满足晶片制备、光敏剥离和清洗、硬掩模蚀刻和剥离以及掺杂再分配等苛刻的性能要求。LAM RESEARCH 490 Etcher/Asher使用先进技术提供关键的单元控制和工艺监控，使基板温度、压力和工艺气体的添加得到精确调整。其标准晶片热管理机具有分段加热器控制和独立基板传感器波段，确保了可复制的工艺效果。高精度工具提供稳态过程温度控制到每面0.2°C以内，而六个战略定位的冷水歧管提供均匀冷却。490 Etcher/Asher具有高度可配置性,可以根据特定流程的需要进行定制。其灵活性和先进的工艺控制资产确保了卓越的蚀刻轮廓一致性和高工艺生产率。其等离子体源可配置用于各种蚀刻工艺化学，包括氯基、溴基和氟基化学，其高功率射频发生器提供工艺重复性，并具有出色的阻抗匹配。LAM RESEARCH 490还提供先进的保形冷却，其中液体冷却剂通过阳极循环，使等离子体源的温度在过程中保持一致。490提供了复杂的监控功能,使其用户能够调整各种工艺组件,以确保晶圆性能最佳。这包括为每种晶片类型编程独立参数的灵活性、对各种温度、压力和气流进行编程的能力,以及在运行开始之前激活的"自动清洁"功能,从而最大程度地减少了流程界面。此外,该型号的远程诊断功能使用户能够远程排除问题,从而提供实时反馈,同时减少停机时间。总体而言,LAM RESEARCH 490 Etcher/Asher提供各种材料精密蚀刻和灰化所需的速度、精度和可靠性。其先进的工艺控制设备和灵活的可配置性使其成为生产微电子元件的理想选择。