二手 LAM RESEARCH 490 #9031604 待售

LAM RESEARCH 490是一款先进的等离子体蚀刻器和化学粉碎机。它是LAM的E系列等离子体和Ashers的一部分，这些等离子体和Ashers被设计用来在各种基板上产生高精度蚀刻图样，包括介电、聚酰亚胺和SiO2材料。LAM 490的标称功率为300W,将延长蚀刻时间的能力与低污染水平和改进的均匀性结合在一起。LAM RESEARCH 490配有多种气线和压力能力，可以进行调整，以适应广泛的过程压力和浓度。这一灵活性范围允许具有多种单元格类型的应用程序,包括但不限于双级蚀刻、阶梯式蚀刻和高级应用程序的修改,例如垂直配置文件。490还具有出色的放气性能，使其能够在难以蚀刻的情况下保持精确度，例如由碳、氟和氧材料形成的等离子体。此外，利用LAM RESEARCH 490可以实现的蚀刻选择性也是极好的，而且经常被应用在晶圆表面制备、化学机械平面化（CMP）和层间介电蚀刻等领域。490的另一个优点是它具有广泛的腔室配置和选项，如两级或两级离子源、旋转和线性天线阵列、可变压力能力和集成清洁功能。这使得它可以根据客户的特定需求进行定制。此外，它还具有高功率、可重复的蚀刻计时器，使操作员能够以最小的方差准确控制过程时间。此外，LAM RESEARCH 490具有DC-RF电源，功率水平可调，频率可调，允许更精确的蚀刻。总体而言，490是一个理想的先进的等离子体蚀刻和化学粉碎机为众多的行业和应用。其最先进的设计允许通过各种工艺蚀刻要求提高效率、准确性和质量控制。它的多功能性和精确度使其成为高端复杂项目的绝佳选择。