二手 LAM RESEARCH 490 #9089389 待售

LAM RESEARCH 490是一种湿蚀刻和灰化设备，设计用于工业制造过程。它能够处理各种蚀刻和灰化应用，并且与各种材料兼容。490利用溶剂和催化剂的组合，可以对硅、玻璃、金属、塑料、陶瓷等材料进行高精度蚀刻或灰化。它提供了包括深层反应性离子蚀刻（DRIE）在内的高级蚀刻和灰化工艺，该工艺利用一个或多个反应性气体等离子体来创建具有高长宽比和各向异性蚀刻图样的蚀刻轮廓。LAM RESEARCH 490的最高工作温度为800°F（427°C），最大压力为40 PSI，适合广泛的硬质材料。它包括一个自给自足的基板加热器，一次提供最多六个基板的批量加工，并具有快速响应，低背景环境。内置的氯化铜浴池保持正确的蚀刻化学，减少污染周围环境的机会。490的蚀刻室由不锈钢构成，具有一个大的检视口，可以装卸基板以及监测蚀刻和灰化过程中的操作。此视口还允许操作员以出色的清晰度确定蚀刻或灰度的完成程度。此外，该系统还包括一个多步处理控制器和一个通用的端点监控单元，以确保优化蚀刻和灰化结果。LAM RESEARCH 490的计算机控制机器允许精确控制针对特定材料和应用而定制的蚀刻和灰化循环。该工具的用户界面易于使用，并为资产的高效运行提供了多种高级功能。此外，该模型包括一个大型的操作参数和配方库，使实验易于设置和执行。490具有高的工艺产量、精确度和可重复性，是工业领域蚀刻和灰化应用的理想设备。