二手 LAM RESEARCH 490 #9112923 待售

LAM RESEARCH 490是一种用于加工薄膜导电材料的蚀刻器/asher。它是一种化学气相沉积工具，利用多种化合物蒸发，形成所需材料的薄膜。490能够生产厚度低至纳米水平、成分均匀的薄膜。该工具具有较高的吞吐量和易操作性，确保了薄膜的快速、准确制造。LAM RESEARCH 490设计了一个标准的真空室，最多可容纳四个直径在2到8英寸之间的晶片。该工具还可以处理多达四种不同尺寸的基板。真空室由空气循环设备冷却，由两个独立的腔室加热器加热。这样可以确保整个晶片在整个过程中的温度均匀一致。490能够在蚀刻或灰化过程中产生高达10 Torr的高压,并且可以编程以实现精确的可重现结果。LAM RESEARCH 490装有石英蒸发源，能达到高达2800 °C的温度。这样就可以沉积各种各样的材料，包括负的和正的光致抗蚀剂以及金、铜、铝等金属。该源也可用于晶片加工前的预处理，以确保薄膜的附着力增加。490还配备了频率扫描系统,用于确保较大基板区域的灰度/蚀刻均匀性。使用此单元,用户可以选择应用该过程的频率,从而能够快速准确地生产所需的材料。LAM RESEARCH 490还配备了一台远程监控机器，可以提供工具及其流程的实时数据。这样可以立即进行调整,以提高工具性能并确保生产出最优质的产品。此外,该工具还设计有一个多晶片监控工具,用于跟踪每个晶片在蚀刻/灰化过程中的化学性质和温度。490是一种坚固可靠的资产,非常适合薄膜导电材料的制造和审查。该模型以具有成本效益的方式提供了均匀性和准确性的最佳组合。