二手 LAM RESEARCH 490 #9145865 待售

LAM RESEARCH 490是一种先进的干蚀刻器/灰化器,用于半导体制造,可在各种设备体系结构上产生高度精确和复杂的特性。这种设备能够蚀刻成金属、硅、聚酰亚胺等具有多种化学性质的材料。它结合了独特的固态等离子体源，提供卓越的蚀刻控制和高工艺重复性。该系统旨在实现直径200毫米以下晶片生产加工的最佳性能。它是紧凑的，有一个长期的跟踪记录，经历最小的维护，并且需要最少的操作员注意。该装置用于通过先进的干蚀刻加工生产具有高精度和重复性的设备。490特性Descum，独特的等离子体源技术。Descum技术通过提高选择性和通过消除微污染提高蚀刻质量，降低了半导体晶片受到污染的风险。这项技术非常适合在洁净室环境中进行蚀刻，因为它消除了挥发性有机化合物，从而形成了清洁、环保的蚀刻工艺。该机器提供客户定义的配方编程和控制,包括预设的用户定义步骤,以确保快速、可靠和可重复的过程。高级流程控制功能使用户能够与工厂中的众多设备进行交互。此工具还提供了复杂的自适应接触测量（ACM）功能,为整个过程控制解决方桉提供了温度、压力和样品可变性的自动补偿。LAM RESEARCH 490是一种高度可靠、准确的资产。它被设计为与各种材料和化学材料兼容，提供了一种低成本的湿蚀刻替代品。总体而言，这种模型是半导体制造和设备级应用的绝佳选择，可以在所有类型的材料上产生复杂的设计。