二手 LAM RESEARCH 490 #9196387 待售

LAM RESEARCH 490是一款具有等离子体和光阻技术的最先进的蚀刻器/asher。它设计为蚀刻材料，如金属、塑料、陶瓷和薄膜，具有非常精确的公差控制。这使得它非常适合为高可靠性电子和光电元件创建复杂的模式和特征。490配备了自动晶圆处理机制，便于蚀刻过程中装卸。此机制可确保蚀刻过程的均匀性,从而实现可重复的结果。它还具有晶圆对准过程，以最大程度地减少蚀刻过程中的误差并最小化地下损伤。LAM RESEARCH 490提供射频和直流蚀刻。射频蚀刻允许蚀刻而不产生通常由较高温带工艺产生的多余离子，从而防止材料污染并提高蚀刻结果的质量。另一方面，直流蚀刻采用低电流蚀刻工艺，增加蚀刻速率，减少蚀刻时间。490的asher部分可以容纳短和长的典型蚀刻/划线运行。也可用于在蚀刻前在晶片上涂抹光刻抗蚀剂。LAM RESEARCH 490的独特之处在于它能够在广泛的晶圆直径范围内以极高的重复性和均匀性进行蚀刻和灰化。490的控制系统是一个包含内部传感器的闭环系统,可以为不同的材料和工艺类型提供最佳的蚀刻参数。这些传感功能还监视可能导致过程不稳定的任何突然变化。总体而言，LAM RESEARCH 490是一种可靠和高度精确的蚀刻器/灰化器，可用于各种光刻和蚀刻工艺。它的特性和功能帮助它在快速周转的时间内实现最佳的蚀刻性能和质量。