二手 LAM RESEARCH 490 #9226106 待售

LAM RESEARCH 490 asher/etcher是一种高级、高性能的高级蚀刻/蚀刻设备,旨在在广泛的蚀刻过程中提供干净、可重复的结果。490可用于蚀刻晶圆、金属、聚合物、玻璃等多种基材。它具有100-420°C的标准工作温度范围，4个可编程的可重复过程，以及内置的温度控制器。LAM RESEARCH 490可用于不同工艺的不同材料蚀刻，非常适合广泛的蚀刻工艺。该系统采用快速热退火（RTA）工艺--一种快速加热和冷却基板的方法，快速均匀地蚀刻指定深度。它与各种气体兼容，包括卤素和氟碳溷合物--允许精确和可重复的过程。490具有气箱模块和真空泵单元,可协同工作以提供精确的蚀刻结果。燃气箱模块容纳了制造受控大气所需的所有组件，如喷嘴、流量计和压力控制器，而真空泵模块则保持恒定稳定的蚀刻环境。LAM RESEARCH 490还配备了先进的控制技术，如显示屏、键盘和控制模块--为操作员提供对蚀刻过程的完全控制。490是完全自动化的，可以编程为同时蚀刻多个基板，典型的周期时间不到五分钟。机器的长寿命电容器和高效的热设计确保了均匀和可重复的结果。它还具有独特的冷却工具,有助于最大程度地减少停机时间和资金成本。综上所述,LAM RESEARCH 490是一种高性能蚀刻/灰化资产,可为各种蚀刻过程提供干净、可重复的结果。它配备了先进的温度控制器、气箱和真空泵模块，以及一个精密的控制模型，可以让用户精确地控制整个过程。它是一种高效、可靠和经济高效的设备，可用于蚀刻各种基材，典型的循环时间不超过五分钟。