二手 LAM RESEARCH 490 #9226284 待售

LAM RESEARCH 490是一款湿蚀刻器/asher，设计用于在半导体生产过程中提供高精度的图样传递和蚀刻能力。它提供了快速的周期时间和可重复的过程结果,使芯片设计人员能够生产出具有高可靠性的小型复杂集成电路。490有一个大的液体抵抗和蚀刻室，可以容纳4英寸晶圆或在其迷你室中最多8英寸晶圆。它具有一个自动实时液位监测场（Auto-LVM）,以及一个可确保每层精确蚀刻的耐用材料管理设备（RAM）。它的顶级负载锁包括多达十个工艺配方和一个清洁的空气幕芯片生产环境。此外,它还提供了严格的过程控制,以实现最佳的图样传递,精确的均匀蚀刻和减少缺陷.该系统配有晶片处理机器人、精密回火的基于文丘里的蚀刻源和层流气体分配单元，以确保一致的聚焦和蚀刻速率均匀性。它还包括用于快速转移的自动水冲洗和清洁负载锁，以及用于更快平衡时间的加热负载锁，以提高吞吐量。LAM RESEARCH 490具有先进的软件控制和用户友好的图形操作员界面以及定制设计的警报指示。它为用户提供具有离线优化功能和现场OEE监视器的自动化刀具鉴定机,以监控周期时间和缺陷率。此外,广泛的流程数据库支持快速、可重复的操作。490是为高精度、可重复的结果而设计的多合一蚀刻/蚀刻asher工具。适用于小型和大型半导体制造工艺，为各种工艺需求提供了经济高效的解决方桉。