二手 LAM RESEARCH 490 #9226287 待售

LAM RESEARCH 490（又称蚀刻器/asher）是一种高度精密和精确的设备，用于在半导体过程中蚀刻或"摆脱"材料。用于半导体制造机器的蚀刻室。这一设备配备了湿蚀卤代碳酸盐蚀刻化学，其作用是在非常高的温度下从半导体表面蚀刻和去除材料的活性层。490的设计是为了在构成大多数半导体芯片的半导体晶片中刻蚀专门设计的特征。它依靠其多种特性，以精确必要的宽度、深度和角度蚀刻这些特性。该系统配备了最小操作模式（LAM）技术，这是一个功能强大且精确的计算机控制单元，可以对蚀刻过程进行最佳控制。该机还设有旋转阴极屏蔽和自动腔室清洗、专用气流控制器和涡轮泵系统以及温度控制环境。这种特性的组合使得半导体结构的精确蚀刻和不同批次的一般均匀性得以实现。为确保蚀刻工艺的精确度和精确度，LAM RESEARCH 490配备了精确的横向控制工具，允许以纳米级精度在晶圆的最多九（9）个不同位置进行蚀刻。它具有很高的蚀刻速率，精确的过程控制，能够处理大量的晶片，每分钟多达25个晶片。该资产还具有现场监视器,允许用户获取实时流程数据。该模型易于使用和操作,用户可以使用易于理解的操作手册。490为半导体行业的器件生产提供了可靠、精确的蚀刻机。