二手 LAM RESEARCH 490 #9226288 待售

LAM RESEARCH 490是半导体工业中使用的最先进的蚀刻器/asher。它提供了作为集成电路制造的一部分的蚀刻和粉碎层的技术。本机设计为兼具湿法和干法过程化学，可处理不同类型的基材。它是一种用于关键半导体器件的全自动、快速和高度精确的蚀刻/粉碎机。490一次最多可操作五个工艺室。所有工艺室都有一个综合的全氟辛烷磺酸减排系统，有助于减少有害物质的排放。它还包括一个自动对准系统，以实现鲁棒晶片到晶片的一致性。每个腔室具有突出的蚀刻均匀性和蚀刻速率均匀性。它包括一个经过验证的电感耦合等离子体（ICP）源，用于在广泛的条件下进行稳定、高均匀性的蚀刻和灰化。LAM RESEARCH 490有灵活的配方选项。它可以达到700 °C的最高温度和多个气流，可以单独调整以匹配工艺配方。蚀刻速率由质量流控制器（MFC）调整，以微调基板表面粗糙度。对于灰化,可以使用基于紫外等离子体的灰化技术来创建所需的表面光洁度。490提供自动模式识别和缺陷检测等高级诊断。它还提供预蚀刻或原蚀刻表面粗糙度控制和多层蚀刻应用。蚀刻过程还包括均匀性的沉积控制，这有助于降低基材损失率。LAM RESEARCH 490还提供单一迭代过程,以提高工艺效率和产量。总体而言，490是一种用途极为广泛且可靠的蚀刻器/asher，它为先进的半导体器件制造提供了一致的结果。它具有先进的功能和强大的功能,是满足最复杂应用程序需求的完美蚀刻器/蚀刻器。