二手 LAM RESEARCH 490 #9232674 待售

LAM RESEARCH 490是一种用于加工半导体晶圆的Etcher/Asher设备。这台机器能够在直径达304.8毫米（12英寸）的晶片上有效蚀刻和粉刷各种材料。它使用了1350毫米（53.15英寸）的通气室，设计用于双面晶圆加工；晶片可以装载标准的集群工具，从而允许单个设备同时处理晶片的两侧。该系统是高度模块化的,在组件级别提供了灵活性,允许定制以满足特定需求。490具有高性能等离子体的大腔室体积,可处理各种操作参数上的蚀刻和灰化应用。LAM RESEARCH 490采用坚固、一件式的不锈钢钝化室，旨在最大限度地减少等离子体引起的粒子产生，并确保温度均匀性。该装置在清洁的环境中操作，能够直接进行侧臂装载，以实现高纯度和最小污染。为了确保一致的重复结果，蚀刻和灰化过程由先进的等离子体控制器控制。基于操作系统的直观控制器提供了过程条件的图形表示,以确保一致的可重复性。该机还具有快速、均匀的射频配电，确保最佳蚀刻和灰化性能。490能够蚀刻和粉刷任何类型的材料。它以一系列不同的气体设计，如氯气、氙气、氢气等，以适应各种材料要求。它还具有对复杂结构进行精确蚀刻的多步骤蚀刻过程的能力。这个工具的烘烤能力也令人印象深刻，因为它可以在持续的温度控制下烘烤到450°C （842°F）。要完成该过程,动态端点检测资产有助于验证过程结果,从而确保获得了正确的端点。总体而言，LAM RESEARCH 490是一个有效的蚀刻器/asher模型，适合广泛的应用。490利用其先进的腔室和计算机控制的工具，可以提供一致的、可重复的结果，污染最小。高性能的射频配电、温度均匀性和多重气体功能提供了一种灵活性,可根据任何特定需求定制蚀刻/灰化工艺。