二手 LAM RESEARCH 490 #9242239 待售

LAM RESEARCH 490是一款为制造半导体器件而设计的蚀刻器/asher。该工具是专门为加强半导体器件加工过程而开发的，使基板的蚀刻和灰化更加高效和准确。490利用不同的压力和温度条件,允许使用特定的蚀刻/灰分工艺。该工具在同一基材上配有多种配方，以提高产量。该过程允许在定义的过程区域中进行有针对性的蚀刻和灰化,从而允许更统一的最终产品。低压等离子体粉碎机用于有机材料的粉碎，也用于等离子体脱粒。低压等离子体允许快速蚀刻过程，而不会损坏基板，留下一个非常干净的表面，具有良好的均匀性。高压等离子体蚀刻器旨在高效蚀刻金属、氧化物和聚合物。该系统使用氧气、Cl2和SF6气体来去除达到所需厚度的物质。LAM RESEARCH 490的自动控制系统允许稳定蚀刻,确保最终产品的一致性。490旨在为半导体行业带来增强的工艺能力。它具有多种工艺能力，能够灵活、准确地加工基板，高压蚀刻确保了精密蚀刻和提高产量。LAM RESEARCH 490设计了一个自动化控制系统，以确保该过程可重现，高压风冷机构保持等离子体清洁，从而使半导体器件基板的蚀刻和灰化更加精确。