二手 LAM RESEARCH 490 #9244750 待售

LAM RESEARCH 490是一款最先进的蚀刻/asher设备。它是一种多功能、高性能的工具,可以满足要求最苛刻的流程需求。该系统采用先进的技术设计,提供高效、最佳的生产率水平和高吞吐量。该装置采用离子辅助蚀刻、等离子体蚀刻、粒子束蚀刻等多种先进蚀刻工艺。蚀刻过程使机器能够快速、精确地操纵材料表面,从而允许将复杂的图样和设计蚀刻到基板中。该工具还能够产生高质量的阶梯覆盖，使其成为在研发中推进设备工艺的理想之选。该资产具有可自定义的腔室大小,允许用户选择适合其流程要求的蚀刻区域和深度。它还具有高级工艺监控功能，如E-Gas系列，允许用户监控蚀刻过程和蚀刻速率。这样可以确保完全按照预期执行该过程,从而提高更高级设备的产量。该模型还附带了多种流程配方，使用户能够快速、轻松地设置流程。除食谱外，还包括对不同蚀刻工艺的食谱支持。这使得该设备具有高度的可配置性，并且与其他生产工艺，如电沉积和晶片键合相互兼容。除工艺能力外，系统还具有自动洗室和自动化维护功能，确保最大限度的单元正常运行时间和可靠性。490具有可靠的性能和坚固耐用的良好记录,是任何蚀刻和蚀刻工艺的绝佳选择。