二手 LAM RESEARCH 490 #9244799 待售

LAM RESEARCH 490是一款蚀刻器/asher,提供高级功能,可实现高速性能和更好的工艺控制。利用线性垂直蚀刻/灰化技术，该蚀刻器/灰化器提供了半导体加工性能和工艺控制的极致。490由两个截然不同的会议厅组成。蚀刻室提供基于真空的工艺环境，而灰化室提供基于大气的工艺环境。蚀刻器/asher还配备了四幅线性舞台，提供了比传统两幅车型更大的采样面积。LAM RESEARCH 490的蚀刻室配备了射频和微波源，允许广泛的蚀刻和退火技术，如干蚀刻、湿蚀刻、后蚀刻处理。移动基板和固定基板可装入蚀刻室，提供广泛的基板和特征尺寸。蚀刻室还能进行无薄膜操作，包括一个石英淋浴头，用于均匀的样品蚀刻。490的ashing chamber利用石英箱式等离子体枪进行更大批量的生产。该腔室还配备了负载锁定和转移系统，以高效装卸基板。两个腔室还提供流量、压力和温度的闭环控制，以及端点检测功能。LAM RESEARCH 490还提供了额外的高级功能，例如一系列的精密清洗工艺、氧化物提升功能以及工艺卡带系统。这种蚀刻器/灰化器是为最佳利用加工气体而设计的，具有通壁气体分布和最大限度地提高气体输送效率的双壁气体管线。此外，这款蚀刻/asher还配备了先进的自动化，提供了各种各样的工艺配方，以适应不同的应用要求。490是一款功能强大且可靠的蚀刻器/asher,可提供高性能、过程控制和准确性。LAM RESEARCH 490凭借其广泛的蚀刻和灰化技术、等离子枪以及前瞻性自动化，是满足各种半导体加工需求的理想解决方桉。