二手 LAM RESEARCH 490 #9251245 待售

LAM RESEARCH 490是一款高性能蚀刻器和asher，用于广泛材料的蚀刻和清洗，包括金属、聚合物、硅和其他半导体材料。它是一个多室结构，有载荷口和基底盒，单载荷锁，预清室，蚀刻室，后清室和清洁室。该机设计用于单个加工室内的半导体晶片的蚀刻和清洗，允许同时或顺序处理多个基板。490利用了根据应用程序要求构建的高度可配置的流程配方。它可以用RF、DC和AC功率的可变源编程，以及压力、温度、流量、等离子体停留时间等其他参数。设备配备了可用于监控过程的高分辨率直视摄像头。机器还配备了记录所有过程参数和条件的数据记录系统。LAM RESEARCH 490可用于高分辨率蚀刻、反应性离子蚀刻、深反应性离子蚀刻、氧化物蚀刻和不同材料高选择性氧化物蚀刻，以及化学蒸气沉积薄膜等先进材料的蚀刻。此外，该装置还可用于用化学蚀刻剂或气体进行基板清洁，如湿蚀刻、电镀或基板清洁。490机专为标准生产环境而设计，提供严格的平台级对过程的控制和高吞吐量。该工具易于操作，具有用户友好的界面，非常适合晶圆处理应用。模块化设计还提供了灵活性和可扩展性,允许与其他制造设备和工艺高效集成。LAM RESEARCH 490可靠耐用，适合生产环境长期使用。