二手 LAM RESEARCH 490 #9262860 待售

LAM RESEARCH 490是一种为满足最苛刻的应用程序的需求而设计的蚀刻/asher设备。490系统具有最先进的功能和性能,是用于半导体应用的高度复杂的蚀刻和灰化工具。LAM RESEARCH 490具有大量的功能,所有这些功能都是为提供卓越的蚀刻和灰化功能而量身定制的。增强的晶片机器人,具有先进的晶片处理能力,可确保减少晶片刮擦,而集成的晶片处理单元有助于降低芯片损坏的风险。在蚀刻方面，490机采用了一种创新的热控等离子体均匀性控制工具（PUC）来微调和控制蚀刻参数，从而在各种材料和基材上获得最佳效果。此外,LAM RESEARCH 490资产还包括一个独特的基材可配置的预清洁工艺模块（PCPM）,用于优化各种基材上的工艺残留物。490设备的鲁棒性控制模型保证了晶片对晶片的高度可重复性和可重复性。这有助于在优化生产效率的同时最大限度地减少与工具和用户相关的变化。LAM RESEARCH 490系统随附的过程控制软件旨在帮助用户优化蚀刻、轮廓和线性性能，同时提供实时查看和处理日志的能力。490单元还配备了先进的安全监控机器（SMSC），允许操作员进行干预，并在需要时采取纠正行动，从而大大减少发生任何事故或晶片处理不当的机会。此外，该工具还提供了一个内置的维护模块，可帮助用户跟踪和管理维护记录以及安排维护间隔，帮助确保资产得到良好维护和无故障运行。为了利用最佳的蚀刻性能，LAM RESEARCH 490包括高端射频发生器和广泛的等离子体选项。先进的射频发生器通过提供各种射频功率级别,最大程度地灵活和控制蚀刻过程。此外,该模型还具有多种高级选项,如多晶片蚀刻和超低间隙蚀刻,用于微调工艺参数,以最好地确保工艺的均匀性。综上所述,490设备以其出色的均匀性和卓越的产品安全性,以及广泛的强大功能,体现了先进的蚀刻和灰化能力。因此,系统是一个完美的选择,对于具有苛刻蚀刻要求的半导体应用.