二手 LAM RESEARCH 490 #9262879 待售

LAM RESEARCH 490是一款中真空蚀刻器/asher，专为半导体制造业广泛的沉积和蚀刻工艺而设计。该蚀刻器利用多种高压低温气源，可以精确控制工艺参数。490具有精确的气体输送、精确的压力和温度控制以及对源电源的精确控制。LAM RESEARCH 490可与多种不同的气体一起使用，包括FEP（氟化乙烯丙烯）、CF4（四氟化碳）、CHF3（氯三氟甲烷）、Ar（氙气）等气体。490有两级真空设备，包括真空泵腔室和2束离子束腔室。真空泵腔室具有10mT的极限真空水平，并配备了MechanicalTurbo-Molecular泵来维持这种真空水平。两束离子束腔包含一个扩散泵，它为样品提供稳定、均匀的离子分布。离子束腔还包含一个高能离子源，能够产生高达50keV的离子。LAM RESEARCH 490还有一个定制设计的气体管理系统（GMS），它提供对真空过程室内气体成分和流量的精确控制。GMS允许广泛的过程参数，从低压到大气压。GMS还包括一个独特的功能，称为电源控制接口（PCI），它允许直接控制源电源，独立于气体流量。490额定用于多种基材，包括硅、石英和陶瓷。它还能够容纳各种样本量和形状。LAM RESEARCH 490有广泛的可用工艺流速，从低到高。总而言之，490是一种中真空蚀刻器/灰化器，通过其两级真空单元、定制设计的气体管理机和电源控制接口对工艺参数进行精确控制。它能够处理各种基材，并提供各种可用的工艺流速。