二手 LAM RESEARCH 490 #9268075 待售

LAM RESEARCH 490是一种等离子蚀刻/asper设备，设计用于生产和研究。具有先进的工艺控制和密室均匀性,具有较高的吞吐量.该系统能够对硬质和软质材料（如氧化物和氮化物）进行高性能蚀刻/蚀刻。蚀刻和沥青的精确度很高。腔室具有紧密的均匀性，使其坚固易用。该装置还配备了用于精密蚀刻和沥青的等离子体诊断和高度精密的工艺控制机器。反应堆配有等离子体源和专门为不同材料的蚀刻或沥青而量身定制的电极阵列。等离子体由注入室内的气体，如氯、六氟化硫和氧气的溷合物产生。腔室通常充满所需的工艺气体，泵入和泵出以保持最佳压力和温度。可以更改各种工艺参数以优化工艺。可以调整腔室的压力、温度和直流偏压，以获得所需的蚀刻和沥青速率。还可以调整参数以微调产品的蚀刻质量和轮廓。腔室还可以预设为所需的设置,以便在生产周期中进行完整的过程控制。该工具还配备了安全功能，如气体探测器和压力调节器。气体探测器允许在检测到有害气体时关闭资产，同时压力调节器确保腔室压力和温度保持在必要的范围内。490是一个先进的蚀刻和asper模型，为硬质和软质材料提供可靠和精确的蚀刻/涂抹。它结合了先进的工艺控制和严密的腔室均匀性，成为生产和研究过程的有效工具。