二手 LAM RESEARCH 490 #9398854 待售

LAM RESEARCH 490是一种高性能蚀刻/灰分解决方桉,旨在满足制造业的需求。该单元由一个加工室、支撑架、电源、安全互锁和隔离阀组成。加工室配有气体管理设备和化学输送系统，可精确控制各种工艺条件。其平台技术采用了最新的陶瓷包装基板，以及一系列针对硅、铝、铜等材料的蚀刻和沉积系统。该加工室包含一系列可调参数，以便能够定制蚀刻和沉积剖面，以获得最佳性能。例如，温度可以控制在20°C至1000 °C，底物温度可以控制在300°C至2000 °C。压力范围从1毫巴到500毫巴，而工艺气体类型可以选择，He、Ar或O2。气体流速可通过调整，视工艺需要而定。提供了压力表和温度表，能够实时读取工艺条件。该单元还配备了几个提高安全性的功能，如前置栅栏、远程衬里开关和静电放电（ESD）控制单元。它通过提供人员保护和预防危险，确保遵守现行安全条例。此外,490的设计具有较低的热预算,可降低样品降解的风险。LAM RESEARCH 490还有一个三自动化端口选项，可以方便地维护和维修其组件。此功能使其成为快速安装和无缝操作的理想解决方桉。总体而言，490是一台多应用晶圆加工机，能够在各种基板上进行各种蚀刻和沉积工艺，使其成为满足半导体和制造业烧蚀和制图需求的必不可少的资产。结合其可靠、节能的性能,它可作为一种高效、经济高效的解决方桉,满足行业的蚀刻和沉积需求。