二手 LAM RESEARCH 490 #9399666 待售

LAM RESEARCH 490是一款先进的蚀刻/asher设备,专为大批量生产而设计,周期时间快,吞吐量增加。该系统非常适合于高精度透厚蚀刻或灰化。其直驱高速发电电机提供卓越的重复性、吞吐量和产量。490是一种极其快速可靠的设备,配置为最大限度地减少停机时间并最大化性能。LAM RESEARCH 490利用等离子体蚀刻/灰化技术,利用等离子体腔室和石英或陶瓷蚀刻/灰分掩模,非常适合DRAM ILD蚀刻或MEMS I型蚀刻等应用。它的开放式框架设计确保了优化的刀具访问,内置了铝制通道,可实现快速灵活的刀具对晶圆板交换。490专为大批量生产而设计，其先进的底物处理特性如子室装卸、底物传递臂和自动掩蔽，使其成为提高操作生产率的理想解决方桉。LAM RESEARCH 490还配备了先进的工艺监测机、强大的真空工具和自动等离子体调谐算法,有助于确保一致的蚀刻/灰烬质量。此外,该资产还具有最大的可重复性,具有快速的电池板交换功能以及广泛的基板尺寸和形状。对于最具挑战性的基板的均匀、高精度蚀刻或粉刷，490蚀刻器/粉刷是理想的选择。LAM RESEARCH 490具有恒定的等离子体参数、改进的均匀性和增加的吞吐量,是进行坚韧蚀刻或灰分作业的理想选择。