二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314595 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一种自动化蚀刻器/asher，能够进行等离子体蚀刻和蚀刻精度。它在微电子工业中用于创建微量的元件和器件，如多层芯片或量子计算元件。ONTRAK Kiyo 45设计有双区真空室，能够完整的端点探测。它配备了原位晶圆温度机构，为蚀刻过程提供了准确、均匀的温度。LAM RESEARCH Kiyo 45还设有一个可远程调节的反应室，可灵活控制蚀刻参数。腔室的墙壁由高级合金构成，保证其耐腐蚀，并能承受严酷的蚀刻过程。此外，蚀刻器还配备了涡轮泵和轴驱动闸阀，具有无电机专利设计。这允许用户控制沉积和溅射速率，并最大限度地减少晶圆处理所需的时间。Kiyo 45采用先进的两通道电子控制器供电，界面直观，为用户提供全面的过程控制。它配备了端点确定、血浆参数自我诊断等多种诊断功能，以及广泛的气体和源输送控制。此外,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45还具有流程模拟功能,允许用户在流程启动之前预测流程的结果。ONTRAK Kiyo 45能够容纳多种晶圆尺寸，包括小晶圆以及直径达八英寸的大晶圆。它能够与集成负载锁室同时处理多达两个8英寸晶片。该蚀刻器还具有多切片蚀刻能力，可以更高效地生产复杂结构。综上所述，LAM RESEARCH Kiyo 45是一种自动化的蚀刻器/asher，具有精密蚀刻和沉积精细微型器件的先进功能。它具有双区真空室、原位晶圆温度机构、可调节反应室以及具有直观界面的电子控制器。Kiyo 45还能够处理多种晶圆尺寸，并配有过程模拟，用于准确预测过程结果。