二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351382 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款创新的蚀刻器/asher,旨在提供卓越的蚀刻和灰化性能。该设备利用多级壳体反应堆，有效实现高达200纳米/分钟的蚀刻速率和高达40纳米/分钟的灰化速率。它紧凑的设计和直观的用户界面使其非常适合各种任务,如晶圆制造、图案删除、RIE、MEMS设备等。ONTRAK Kiyo 45配备了先进的磁控管源，提供具有低压操作的高密度等离子体。这有助于提高蚀刻和灰化操作的产量和可重复性。蚀刻器/asher还提供了一个改进的过程窗口,由于其闭环电源控制系统而产生了可重复的结果。它具有广泛的晶圆尺寸选项,范围从6英寸到12英寸不等,并且可以配置最多12个配方插槽,以便于高效生产。LAM RESEARCH Kiyo 45是一款可靠、经济实惠的蚀刻器/asher,具有多种功能,可满足各种工艺要求。其直观的用户界面和先进的流程控制使流程优化变得简单而有效。数据记录单元有助于记录流程数据,从而能够快速解决问题和排除故障。此外,模块化设计和开放式体系结构使您可以轻松地即时添加和删除组件。为了安全起见,Kiyo 45设计了强大的互锁,可保护用户和工艺工具免受伤害。该单元的腔室是密封和通风，以减轻污染，其密封法兰。蚀刻器/asher还具有完整的电机保护集成安全电路。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款出色的蚀刻/灰烬工具,可提供可重复的结果,同时满足各种工艺需求。它是一个可靠和成本效益高的工具，有助于确保业务效率和产量。ONTRAK Kiyo 45具有多级壳体反应堆、高效设计、坚固的安全特性，是满足广泛蚀刻和灰化需求的理想选择。