二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #131567 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种用于半导体器件、MEMS和其他元件的多室蚀刻器/asher设备。该系统采用三室设计，能够精确蚀刻和粉刷关键部件。每个腔室的温度都可以控制，以确保温度均匀，对于使用的各种基板，工艺参数都是可调的。集成精密处理单元保证了可重复的效果，并通过其高效的微粒空气滤波器（HEPA）保证了机器的清洁度。LAM RESEARCH TCP 9600SE是一种可靠、安全、高效的工具,可在整个蚀刻和灰化过程中提供一致的气流。它还包括一个流量可调节的石英淋浴头，能够提供一个统一的蚀刻/灰化模式，并且有一个自动化的校准资产，可以用来快速和方便地设置大小、模式和工艺参数。TCP 9600 SE的腔室由不锈钢构成，配置了一个提供低压、高速气体淋浴的气动吹风机。气体淋浴用于均匀地分配蚀刻和灰化产品，以及保护组件免受污染。该模型还包括干环和湿环真空设备，确保在整个蚀刻和灰化过程中腔室压力和温度一致。TCP 9600SE设计用于各种基板配置。它与铝、硅、玻璃基板以及不锈钢、铂、钨和硬金等其他材料兼容。高密度聚乙烯、聚酰亚胺、卡普顿等其他底物也可与系统一起使用。该单元设计方便维护和维修，包括一个软件包，允许操作员监控机器性能，以确保最大正常运行时间。LAM RESEARCH TCP 9600 SE还具有远程监控功能,允许技术人员访问数据并根据需要进行调整,以及访问一个配方库,以便快速选择和实施标准流程。总之，LAM RESEARCH TCP 9600SE是一种高效、精确的机器，非常适合将元件蚀刻和灰化成所需的形状和尺寸。它具有先进的温度控制、精密处理系统、均匀的气体分配和可定制的软件，是半导体器件制造的理想工具。