二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293595662 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE 蚀刻器/asher是一个高度可靠和用户友好的系统,非常适合蚀刻和粉刷各种基板,包括硅、金属和陶瓷。它能够生产与集成电路和高级封装应用兼容的高质量和功能丰富的零件。LAM RESEARCH TCP的先进功能9600SE轻松结合其可靠而强大的性能，产生优异的效果。TCP 9600 SE配备了兼具蚀刻和灰化功能的双功能腔室，使其成为功能间快速跳跃的完美选择。它还具有两级搅拌功能，即使在复杂的蚀刻基板上也能快速稳定地搅拌。TCP 9600SE提供了一个高级级别的过程控制,包括多达八个可编程的配方步骤和各种等离子体驱动模式,以提高过程的灵活性。LAM RESEARCH TCP 9600 SE的自动化监控系统有助于确保配方的准确制造,并具有嵌入式安全功能,适合清洁室操作。它还提供钝化能力，允许制备低eV氧化物化学计量和低颗粒水平的表面。LAM RESEARCH TCP 9600SE同样能够蚀刻深沟，其先进的氟化工艺能够精确去除电介质，有效消除尘埃颗粒。TCP 9600 SE配备了方便的触摸屏,能够处理尺寸不超过12英寸的基板,满足现代蚀刻工艺需求。该系统还提供极其精确的温度和压力控制,使用户能够为各种底物创建最佳工艺,从而降低损坏程度。它的自动化过程配方只需要指定一次，消除了繁琐的设置和对齐步骤。TCP 9600SE管理来自一个中央软件平台的所有流程步骤和结果数据,提供对流程配方、诊断、服务和技术支持的全面可追踪性。因此，它是高效生产用于先进半导体和封装应用的高批量、高质量零件的理想选择。