二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293636060 待售
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ID: 293636060
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
SECS
Gas panel type: Standard
Etcher type: Stand alone
Robot: Auto loader
Backside helium cooling MFC type: 622A-13224
On-board RF Generators
Endpoint detector
Endpoint type: Photodiode
Fixed electrode gap
ESC Wafer clamp
TCP Coil, 8"
Signal lamp tower
Main On-board AC distribution type: Circuit breaker
Remote AC box
WVDS
Gas box:
(8) Gas lines
Gas line / Gas / Flow
1 / Cl2 / 200
2 / BCl3 / 100
3 / SF6 / 100
4 / N2 / 20
5 / N2 / 500
6 / Ar / 200
7 / O2 / 2000
8 / CF4 / 200
Does not include:
EDWARDS iQ80/500 Etch chamber pump
EDWARDS iQ80/500 Strip / Ash chamber pump
TAITAC DEX-30A Chiller
CE Marked.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种先进的等离子体蚀刻设备,具有优异的蚀刻性能和高效率。系统的总腔室长度为73英寸,能够处理最大尺寸为6英寸的单面和双面晶片。该室是真空密封的，包括一个水平蚀刻区和一个隔离区，用于控制蚀刻过程中的基板载荷。该装置还具有温度控制室，可将晶片的工作环境保持在最佳水平。LAM RESEARCH TCP 9600SE配备了一个完全集成的多工具/站台、350伏主电源面板和一系列外部歧管，提供灵活的运输路线和过程气体输送（N2、H2、Ar）。该机还采用了高分辨率的感应耦合等离子体源，能够提供高能密度等离子体具有出色的功率调节，能够更好地控制过程，提高蚀刻质量。此外,TCP 9600 SE还配备了集成的软件套件,可为用户提供对该工具的直观控制,并允许用户修改过程参数,例如蚀刻周期的持续时间和等离子功率级别。它还包括自动速度和距离控制、用于真空操作的远程弹出站、用于精确蚀刻的自动基板配准等多项自动化功能。TCP 9600SE还具有等离子体压力控制和自动紧急关闭等一系列安全功能,确保人员和设备的安全。
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