二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293757625 待售
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ID: 293757625
Etcher, 8"
APM
Bias
Operator interface: Bulk head
Indexer: Hine 38A
715-331131-002 Fixed gao middle chamber
716-330122-003 Plate top ceramic
853-032190-008 TCP Matcher
853-330951-021 Bias matcher
Wafer clamping : ESC (Notch)
RF Generator
Chamber manometer: 3Torr
ALCATEL ATH-1300M Turbo pump
Pressure controller
Main: Vat valve, 64 PM and PM5
MDVX-018 & AC-2 DSQ
DSQ Hinged
DSQ Matcher
Heated paddle
WVDS Manual fill
Chamber heater controller: 12 Loop external anafaze
Orbitally welded gas box: (8) Gases
Closed loop He Cooling: UPC8130 and Tylan CDL-12S13 (20 Torr)
Remote power module: Main 175A Remote
Power module
C/B Hardware
Load station:
Belt type shuttle
Standard edge
Detector
Load lifter.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种为高速工艺而设计的蚀刻器或asher，是湿式台阶技术的一种。该蚀刻器可以在单个腔室中执行等离子体蚀刻和灰化等过程，蚀刻和灰化材料分别在同一平台上交付。9600 SE的标准蚀刻速率为5微米/分钟,灰度速率高达100微米/分钟。等离子体蚀刻器采用低频感应辅助工艺和一致的流速，以确保被蚀刻或灰化材料的均匀性。该单元有一个先进的内置控制器，负责控制等离子体生成过程。控制器通过一系列反馈温度、压力和其他条件的传感器连接到设备，以确保一致的蚀刻或灰化过程。控制器还可以提供等离子体过程的自动化操作，并监控蚀刻或灰化过程中使用的参数。LAM RESEARCH TCP 9600SE的设计与其他湿式台式蚀刻或灰化系统相比,易于使用和维护。该设备采用人体工程学设计,高度易于调节,可满足各种用户需求。9600 SE还具有直观的用户界面,可用于输入蚀刻和灰化参数,从而可以快速调整设置或操作。蚀刻器或灰化器由不锈钢腔室构成，允许一致和可靠的清洁。腔室以可变功率加热，以保持一致的蚀刻或灰化温度。扩展铃允许在需要额外材料的地方添加额外的蚀刻或灰化球。TCP 9600 SE配备了多功能烟雾罩，用于捕获蚀刻或灰化过程产生的危险烟雾。引擎盖的设计易于调节，提供各种气流配置，以满足各种危险材料收集需求。总体而言,TCP 9600SE是一种高效的基于湿式台式蚀刻机或灰化器,旨在高效、经济高效地运行。对于那些需要高速工艺并且想要使用易于使用和维护蚀刻器或灰烬的人来说，该单元是一个可靠的选择。
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