二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293820921 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种高级蚀刻器/asher,用于实现临界表面和设备处理。这种先进的蚀刻和灰化设备旨在实现精密晶片阵列设计,最小的生物污染风险以及最高水平的总体吞吐量和过程控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE适用于RTP、蚀刻、脱氧、扩散过程和等离子体灰化等多种应用。TCP 9600 SE由一个带有四个独立控制的腔室的单一外壳组成。每个腔室包含一个等离子体源、屏蔽硬件、一个私人晶片升降机和一个大气净化控制面板。该系统还具有温度控制的舱门,以创建一个包含灰尘的环境。它能够一次处理多达十个晶片，晶片的直径可达200毫米。该单元配备了几种先进的蚀刻和灰化工艺，可以单独定制，以满足个别应用程序的需求。这包括先进的等离子体控制技术，避免任何直接沉积在敏感芯片区域，并保持均匀的沉积速率。激光辅助蚀刻和灰化以及先进的冷却系统。这些技术使机器能够提供出色的精密蚀刻和灰分结果,同时还能控制温度,从而创建无锚固退火环境。该工具还具有先进的算法，能够保护晶圆免受污染问题的影响，优化蚀刻和灰分配方，监测端点和工艺结果的质量。配方的开发是为了最大限度地提高工艺的可重复性和质量而优化的。总体而言,TCP 9600SE是一种功能强大的蚀刻和灰烬资产,可在各种应用程序中提供出色的结果。其先进的特性，如等离子体控制、激光辅助蚀刻和先进的冷却系统，使模型能够提供精确和质量的蚀刻和灰化结果。该设备的设计易于使用和维护，并提供最佳的整体处理结果。