二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095942 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种高性能的反应性离子蚀刻（RIE）和asher设备,旨在提供紧密的尺寸控制和过程均匀性。该系统具有高容量、集成的工艺室和自动化的负载锁,使其成为批量生产的经济高效的解决方桉。LAM RESEARCH TCP 9600SE还具有高级工艺控制、多种工艺配方和自动化子系统,使其成为大批量制造应用程序的可靠合作伙伴。TCP 9600 SE具有先进的工艺室,旨在提供高蚀刻速率和卓越的工艺均匀性,同时还提供各种可用的蚀刻和灰化化学。宽敞的腔室还可实现更高的工艺吞吐量和更低的成本。该单元还具有一个完全集成的负载锁定机，其设计使快速样品加载。TCP 9600SE还包括高速、自动化的晶片载体和处理工具,可确保在整个蚀刻和灰化过程中提供卓越的晶片保护。LAM RESEARCH TCP 9600 SE配备了先进的过程控制资产,可实现精确的配方控制,以实现最佳的过程一致性和可重复性。此模型提供了多个过程配方,使用户能够为其特定应用程序自定义蚀刻和灰化过程。LAM RESEARCH TCP 9600SE的工艺控制设备也考虑到晶圆平整度，以最大限度地提高蚀刻均匀度。TCP 9600 SE具有多种原位监测和计量功能,包括光学对准和光谱发射测量。该系统还设有触摸屏和图形用户界面，允许用户监控和调整流程参数。TCP 9600SE旨在与大多数可用的蚀刻和灰化化学设备兼容,并配有各种附件,包括用于快速和可重复样品加载的负载锁和晶片处理组件。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款先进的蚀刻和灰化设备,具有较高的工艺吞吐量、严格的尺寸控制以及卓越的工艺控制和一致性。它的全自动负载锁机器、多种工艺配方和原位计量功能使其成为大批量工业应用的可靠合作伙伴。