二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095943 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9095943
晶圆大小: 8"
Al etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款高精度的蚀刻器/asher,专为等离子材料蚀刻而设计。它的高级功能允许精确控制工艺参数,使其成为研究、开发和批量生产的理想选择。LAM RESEARCH TCP 9600SE提供高分辨率薄膜蚀刻,旨在满足广泛行业的高级应用程序的需求。它极快的速度、精确的控制和精确的制图能力使其非常适合研究和现代制造。该设备采用干式等离子体操作,支持多种过程,包括低压或大气、光学或感应以及大面积或空隙填充。它的自动化晶片加载系统使用户能够快速轻松地调整批次之间的过程参数,从而减少了与手动操作相关的停机时间和成本。该单元还集成了复杂的过程监控,与网格切割和故障检测无与伦比的过程控制。自动调谐功能为可重复结果提供了过程参数的细粒度、迭代优化。TCP 9600 SE还提供出色的热管理,有助于散热,防止由于温度过高而损坏机器中的组件,并提高精度和精度。内置安全功能可保护工具和操作员免受潜在危害,如过压或电流、高温以及灰尘或气体积聚。该资产设计用于在110/220-V交流电源线上运行,并且可以在4类清洁室10/ISO操作。TCP 9600SE解决了与现代蚀刻应用程序相关的各种挑战,提供了卓越的性能和精确度。其坚固的设计、可靠性和准确性使其成为众多工业蚀刻应用的首选。
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