二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095946 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一个先进的蚀刻/asher工艺室，旨在支持半导体器件制造中使用的特殊蚀刻、清洁和钝化工艺。LAM RESEARCH TCP 9600SE提供精确可靠的晶圆级工艺控制，并配备了最新的半导体工艺室技术，包括先进的工艺控制算法、集成的射频发生器和先进的软件。TCP 9600 SE专为半导体器件表面的蚀刻、清洁和钝化而设计。该腔室配备了温度和压力控制、氧气监测仪、原位腔室清洁、自动流体过滤以及用于精确等离子体蚀刻和活化的先进射频发生器技术。该工艺室还使用先进的数字工具，如故障隔离技术、可追踪性和数字溷合器/执行器控制，提供先进的材料污染管理。TCP 9600SE设备提供了先进的工艺控制,可配置为支持多种特殊工艺,包括通过蚀刻、低k蚀刻、低温湿蚀刻、暗空底壳蚀刻、堆式扩散和通过蚀刻优化的循环时间。该系统还配备了集成射频发生器，可以精确调整功率水平和等离子体参数，以确保产品质量。LAM RESEARCH TCP 9600 SE能够处理多达300 mm的晶圆，并配有两个石英工艺室，一个射频发生器，一个自动流体过滤单元和一个工艺检测机。该工具提供全面的安全保护,包括紧急停止和E-Stop按钮,以终止过程并防止机器损坏。该工艺室还配备了一个先进的软件包，允许用户监控资产性能，并以可定制的方式优化工艺配方。软件还提供全面的模型报告，包括配方信息、元素温度、氧化剂水平、压力、射频功率水平等工艺特性。LAM RESEARCH TCP 9600SE 蚀刻器/asher是为先进的半导体器件蚀刻、清洁和钝化应用而设计的。其先进的过程控制算法、集成的射频发生器和数字软件允许精确可靠的晶圆级过程控制，使其成为半导体工业的重要工业工具。