二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095947 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE 蚀刻器/asher是一种高性能、自动化的工艺工具,专为半导体在蚀刻和灰化方面的应用而设计。在金属蚀刻、各向异性硅酸盐蚀刻（ASE）、通过地层推进、介电灰化工艺等方面均取得优异成绩。LAM RESEARCH TCP 9600SE配备了专用的远程视觉监控系统,允许用户从远程位置监控和评估流程结果。其先进的物理气相沉积（PVD）源允许更好的膜均匀性和更大的过程控制。TCP 9600 SE包括流体动力压板,可实现更快、更准确的结果以及更高的工艺吞吐量。此外还有一个综合的三区分隔制度；高压低温加压聚合物托盘；以及一个加热蚀刻模块，用户可以实现更高的蚀刻速率。此外,TCP 9600SE还集成了许多内部工具和功能,如多功能阀块和集成真空系统、晶圆跟踪器和射频发生器。所有这些功能使LAM RESEARCH TCP 9600 SE成为市场上功能最强大、最可靠的蚀刻/asher系统之一。