二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9134002 待售
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ID: 9134002
晶圆大小: 6"
Etcher, 6"
Operation system: Classic
Clamp type: E
APM Type: Standard
Stripper type: DSQ
General hardware information:
System requirements: 208V / 3PH / 50 / 60Hz
AC / DC Configuration: 001
Gas box type: Orbital type
Main chamber pressure regulation type:
WVDS Type: Auto
DSQ Type: Hinged
TMP Options:
TMP Type: A1 1300M
Endpoint detection options: 261 / 703
Endpoint window type: Non HTD
Monochromator hard structured: N
Lam standard remote AC box: No
CR Configuration:
Ballroom: Bulkhead
Mini environment: No
Factory automation configuration:
Open cassette: 6"
Miscellaneous configuration:
Remote user interface: Yes
XLL Wafer sensor: Yes
Vacuum / RGA Check port: Vacuum check port main chamber
Manuals: No
Pumping system options: No
Mainteinance tool kits: No.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种蚀刻器/asher,专为精确、可重复地清洁腔壁和其他需要精确、可控清洁的表面而设计。它利用一个非金属喷雾设备创造一个精确的，重复均匀的清洗过程。该系统能够精确覆盖和精确可重复清洗，其结果始终准确可靠。LAM RESEARCH TCP 9600SE的专利技术采用脉冲喷嘴，将液体的流动限制在极细的粒径，产生的喷雾模式比市场上任何其他单位都要精细得多。这创造了一种可重复和精确的覆盖模式，能够以更高的精度覆盖更高的腔壁区域。该机还具有独特的喷涂机构，利用阳极氧化蒸气，允许一致和精确的清洁表面需要它。TCP 9600 SE配备了多项安全功能,以确保清洁过程安全高效。其中包括耐磨材料，以及一个内置的屏风，以防止径流和包含过程中产生的任何气溶胶。该工具还配备了自动关闭功能，以防清洁溶液流动中出现计划外停止，防止设备或腔壁受到任何潜在污染。TCP 9600SE还具有一系列高级控制功能。这包括可调节的喷雾设置以确保精确和可重复的覆盖范围,以及能够设置多个不同设置的清洁周期以适应不同的表面和清洁要求。该资产还能够对喷涂工艺进行自动重新校准，减少对手动校准的需求，提高模型性能。最后,LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种能够精确、可重复清洁需要精确和可控清洁的腔壁和其他表面的蚀刻器/灰化器。它具有获得专利的技术,可创建非常精细且可重复的覆盖范围,以及安全功能和高级控制,以实现可靠和一致的结果。LAM RESEARCH TCP 9600SE结合了高性能和安全特性,是寻求精确可靠的清洁工艺的理想选择。
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