二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153019 待售
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ID: 9153019
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Etcher, 8"
SMIF Indexer
Auto loader
Auto fill WVDS & hinged DQS
SEIKO SEIKI STP-H1000L Turbo molecular pump
1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE 蚀刻器/asher是一种用于半导体材料蚀刻/灰化的高性能、经济高效且可靠的工具。该机器能够使用基于直流电(DC)或射频(RF)的光源在平面和垂直蚀刻区域内进行蚀刻/灰化。蚀刻器的加工室由不锈钢构成,为处理敏感和重图案的半导体晶片提供了一个稳定和安全的环境。9600 SE配备了强大的可编程电机和风扇控制,允许在蚀刻/灰化过程中对工艺条件进行精确、精确的控制。设备使用先进的气体/真空源在整个晶片表面提供均匀一致的蚀刻/灰分剖面。可以配置不同的气流和压力以满足广泛的蚀刻需求,从而实现高度控制。此外,蚀刻器配备了不同的电极,允许根据被蚀刻的材料施加不同的动能,使机器达到一致的高性能水平。9600 SE的精密ashing功能允许对高纵横比特性进行极其精确的ashing。该系统的高级工艺室旨在最大程度地减少表面损伤,优化蚀刻/灰化工艺。此外,蚀刻器具有先进的自动化晶片传输单元,允许高速晶片处理,最短的等待时间。9600 SE的编程功能为用户提供了对蚀刻/灰烬过程的完全控制,自动化过程可实现高吞吐量,而不会影响质量。该机器配备了顶级安全功能,包括热成像和气流分析等各种监测系统,确保操作员在任何潜在问题变得关键之前就意识到这些问题。此外,该工具还利用智能数据收集和存储软件,使用户能够轻松地监控和控制流程参数。LAM RESEARCH TCP 9600SE 蚀刻器/asher是一种用途广泛、可靠且经济实惠的蚀刻/蚀刻解决方桉,非常适合高性能、高通量的应用。9600 SE凭借其先进的编程能力、先进的工艺能力和全面的安全功能,是蚀刻/灰烬应用的绝佳选择。
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