二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153545 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种最先进的蚀刻器/asher。它设计用于等离子体蚀刻和湿法化学蚀刻/灰化过程。这台机器非常适合先进的工艺应用，如临界膜、硬面膜残留物和特殊膜。它具有模块化、统一、气密的腔室，允许它进行RIE、ICP和等离子体蚀刻，以及湿式化学蚀刻和灰化。本机配备了多种工具，包括层流、大容量真空泵、高频射频发电机和高分辨率蚀刻控制系统。这使得它能够以卓越的一致性、准确性和可重复性执行各种不同的蚀刻过程。它的压力控制也允许高精度的过程控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE也有一套自动化配方选项，允许用户在不需要编程的情况下快速设置并运行批处理。此外，它还配备了一系列自动监测和控制系统，包括工艺端点探测器和对工艺参数的自动调整。TCP 9600 SE还具有业界领先的安全功能。其中包括限制访问机器某些区域的操作员界面、在临界功能温度、气压或其他工艺参数的情况下自动关闭以及集成的双重启动系统。此外,它还配备了制造商的强大维护计划,包括定期预防性维护、延长保修以及售后服务和支持。这让客户心目中，他们的投资在未来几年都会得到很好的照顾。TCP 9600SE是任何进行蚀刻/灰化过程的实验室的绝佳选择。它结合了卓越的技术、智能的操作特性以及售后服务和支持,使其成为任何设施的理想选择。