二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9169594 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种先进的蚀刻/asher设备,非常适合研究和工业应用。该系统具有全球条件，包括一个氮循环利用支架，以达到最佳性能。LAM RESEARCH TCP 9600SE是一种单晶片蚀刻和灰化装置，工艺范围高达12种气体，线性速度从0.25 nm/min到1.0 nm/min。它提供了从-20°C到+20°C的全温度控制，从而提供了研发新工艺所需的灵活性。TCP 9600 SE具有获得专利的线性速度剖面（LVP）控制,可提供卓越的工艺一致性和最小的晶圆翘曲。为了便于操作,TCP 9600SE具有用户友好的触摸屏界面和多种语言选项。它提供了配方和关键参数的图形表示，使配方的操作和验证快速而高效。再者，LAM RESEARCH TCP 9600 SE可以在开始运行前模拟多个过程参数，从而消除猜测，减少完成时间。LAM RESEARCH TCP 9600SE 蚀刻器/asher还提供了高度定制模板形式的额外灵活性。这允许用户拥有广泛的脚本，以帮助自动化和简化机器的操作。在安全性方面，TCP 9600 SE附有主动等离子体锁，在超过过程参数或检测到异常的情况下自动关闭等离子体。这对于保护研究人员免受危险排放至关重要。该工具还配备了紧急关机（ESD）资产,可用于在发生紧急情况时关闭机器。总而言之,TCP 9600SE是一种非常适合研究和工业应用的高级蚀刻器/asher模型。其用户友好的界面和高度可定制的模板使其易于操作,而其高级安全功能为用户提供了最大程度的保护。