二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197777 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款最先进的蚀刻器和灰化器,具有高效、可靠的蚀刻和灰化性能。该设备采用高度可重复的自动化流程,可提供快速、准确的结果以及易于使用的控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE旨在满足最苛刻的生产和研究环境中的大容量吞吐量要求。该系统具有自动盒式磁带处理和高效的负载处理功能,可实现快速一致的生产。TCP 9600 SE具有高通量容量，允许每个卡带最多8个基板，最大卡带容量为96个基板。该装置的低交叉污染和低基板沉积速率提供了一个高度可重复和稳定的蚀刻和灰化过程。TCP 9600SE配备了一个独立的工艺室,便于交换和连续清洁。该工艺室与一步烘烤工艺集成在一起，最大限度地减少了停机时间，并允许最大的正常运行时间和吞吐量。机器具有高级诊断功能,允许实时监视过程。该工具的精度是无与伦比的,在蚀刻和灰化过程的所有步骤中,可重复性和精度均在3%以内。集成工艺可防止不必要的蚀刻,提供极低底物沉积的高度轮廓。LAM RESEARCH TCP 9600 SE能够对多种材料进行蚀刻和灰化，包括ArF、IBE和具有不同电阻率的晶片的深度蚀刻。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9600SE在高效和受控的环境中提供出色的蚀刻和灰化性能。TCP 9600 SE具有可定制的平台和稳定的流程,旨在满足任何研究或生产环境中的最高生产率、吞吐量和准确性标准。