二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197974 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是为满足当今半导体行业快节奏和具有挑战性的需求而开发的高性能、自动化的蚀刻器/asher设备。它提供了快速的周转时间、高精度的蚀刻结果以及高级工艺控制功能,旨在满足现代生产应用程序的所有需求。LAM RESEARCH TCP 9600SE专为卓越的吞吐量而设计,可处理多种材料,包括金属、金属氧化物、硅和其他介电膜。其可控的等离子体源在一个有维度、均匀性控制的加工环境中实现了高质量的蚀刻结果。其动态气流定位控制着从源头到底物的等离子体，最大限度地减少了不必要的消耗，实现了有针对性的蚀刻速率。TCP 9600 SE配备了创新的气体减排系统，利用先进的过滤器最大限度地减少室内环境中挥发性有机化合物的存在。该单元对于确保安全和合规的流程环境至关重要。TCP 9600SE还采用额外的安全措施,如气体联锁和外部压力传感器,以确保人员得到最大限度的保护。机器的高级过程控制功能确保在整个生产过程中具有最高水平的可重复性和产量。该工具提供的集成软件套件可实现实时流程监控和数据收集以及流程后文件分析和报告。此外，板载晶片映射资产允许在多个晶片上同时进行自动阻抗和基于图像的过程参数，以进行整个过程监督。最后,经过行业验证的红外工艺头允许进行非详尽的晶圆运动和更长的晶圆运行时间,这将转化为质量、吞吐量和产量的不妥协水平。LAM RESEARCH TCP 9600 SE提供了最高级别的精确度和高效的过程控制,并进行了严格的安全检查,在蚀刻器/灰烬技术方面提供了无与伦比的功能和可靠性。它是那些需要可靠、可扩展和有利可图的解决方桉来满足半导体行业不断变化的需求的人的理想模型。