二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9211769 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种先进的基于等离子体的Asher/Etcher设备,专为聚合物和其他薄膜的沉积而设计,可用于多种用途。LAM RESEARCH TCP 9600SE能够在晶片上进行高端蚀刻、蚀刻速率测量和热回流。该系统的核心技术是"反应性离子蚀刻"（RIE），它结合了离子轰击的物理效应和气相能量转移的化学效应，产生高度各向异性的蚀刻剖面。此外，该股还包括一个ULTRAWATER模块，以可靠、可重复的方式提供高纯度的去离子化加工水。TCP 9600 SE利用最新技术使结构和材料的精确蚀刻成为可能。它配备了具有可编程扫描矢量的高精度工艺室，以实现卓越的工艺控制。该机还具有高速等离子体源（用于快速蚀刻循环）、低蒸气输送工具（用于清洁蚀刻）和特殊气体输送资产（用于隔离用户和环境中的蚀刻气体）。为了确保安全可靠的运作，该模型包括若干安全特征，如自动压力调节、空气/气体泄漏检测、净化气体控制以及火灾和气体探测/抑制系统。TCP 9600SE是下一代LAM RESEARCH Asher/Etcher设备的一部分,提供卓越的性能和可靠性。该系统为用户提供了一系列优势,例如更好的过程控制、卓越的一致性和更大的吞吐量。该单元非常适合晶圆级封装应用和其他高级IC处理应用。