二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025 待售
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ID: 9228025
晶圆大小: 8"
Etchers, 8"
Control system: EnVision
CPU: 586 Processor
HINE 38A Indexers
Process chamber:
Ceramic TCP window
Endpoint detection, 853-001983-011
Heated endpoint window
Process kits, 6"
6" ESC Semi / Major / No minor
No chamber liner set
SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S
No turbo pump interlock board
Pendulum gate valve: VAT65
Vat gate valve controller: PM7
Main chamber manometer: 100mt
Turn RF coil: 6 Turns
DIP-PCB RF Tuner
Helium back side cooling
Gas
DSQ Chamber:
Hinged DSQ stripper
WVDS
Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O
Heated paddle, 6"
Quartz, 6"
Manometer: 10 Torr
Throttle valve pressure controller: MDVX
Auto fill WVDS temperature controller
Auto fill WVDS controller
Chemraz o-ring
APM:
Ambient and hot water: 70°C
Nitrogen gas blow dry
APM DI Water heater controller
APM DI Water nozzles
Others:
On-board 1250W generators: (3) RFG 1250
9600SE EnVision manual
No chiller
No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是为半导体基板精密蚀刻和灰化而设计的下一代蚀刻/灰化工具。其先进的工艺技术提供了卓越的性能和长期的可靠性,使其能够用于生产环境和研究实验室。LAM RESEARCH TCP 9600SE利用双面石英催化剂板，即"蚀刻板"，其中含有小的陶瓷颗粒，以产生均匀分布的水性反应物和气体。然后将蚀刻板暴露在真空压力环境和射频（RF）功率下，使反应物充满能量，并迅速将其驱动到基板中。该工具配备了高度可定制的软件和硬件平台，可精确控制空间均匀性和电源设置。TCP 9600 SE具有以下功能：它与多种基板尺寸和形状兼容,使用户能够在2 cm x 2 cm到12 cm x 12 cm的碎片上进行蚀刻和灰烬处理。它还提供了广泛的压力、温度和反应气氛供选择。它还具有气流控制系统和水处理等几个附加功能，便于安全运行。总体而言,TCP 9600SE是为半导体应用而设计的精密蚀刻和灰化工具。其先进的流程技术和可定制的软件设置提供了卓越的性能,同时降低了运营成本和时间。通用的尺寸选项和自动化的环境控制确保了安全有效的蚀刻和灰化过程。LAM RESEARCH TCP 9600 SE具有长期的可靠性,是任何蚀刻/灰化应用的理想选择。
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