二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228027 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种高纵横比等离子体灰烬/蚀刻设备。它是一个基于Macrosolver的TCP技术的热和化学等离子蚀刻系统。这种蚀刻装置提供了精确的模式传递和优越的地形优化.它能够生成深度大于10微米、高纵横比特征尺寸的蚀刻轮廓。LAM RESEARCH TCP 9600SE还具有通过分子粘附实现低接触电阻的能力。TCP 9600 SE最适合具有高纵横比和高纵横比特征尺寸的高级材料和工程应用。它是先进制造、汽车、电力电子和材料应用的完美机器。它具有高长宽比、低接触阻力的特点，是一种适合客户要求精度和速度的多功能蚀刻沉积机。TCP 9600SE具有三个独立的反应物气体输送源室和一个用于精密蚀刻的大型5目标高纯度射频发生器。直径4英寸的辐射隔离高纯度石英工艺室保证了最高的均匀性，低颗粒水平和快速的工艺恢复时间。先进的高分辨率视频成像工具允许对工艺窗口晶圆逐个晶圆进行完全控制。此外，集成的双枪阴极电弧技术提供高纯度Ti、TiN、AlN、Al2O3和PVD硬铬/钴的均匀高效沉积。LAM RESEARCH TCP 9600 SE配备了LAM专有的过程控制工具（PCT），实现了可重复、可预测的过程性能的充分体验。该工具对电弧沉积均匀性、电流和功率控制、嵌入式统计过程控制过程诊断工具（PDT）以及用于多气体输送的高级源气体管理提供了有效的控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE配有用于加强源气隔离的多真空门资产和用于改进气流控制的更大源气歧管。一系列独立的吞吐量选项可用于满足自动化环境中的各种流程吞吐量需求。相容的部分范围从400毫米底物与任何形状，低分子沉积和先进的金属蚀刻。TCP 9600 SE兼容WADD和SFT格式、SECS/GEM、ProdLink和软件远程数据访问协议。此外，这一模式符合欧洲经委会、UL、IEC和CSA等最新安全条例。