二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228028 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种半导体蚀刻/灰化设备，为最佳性能和便利性而设计。它为各种电介质、金属和其他材料提供全自动蚀刻/灰分工艺。该系统使用标准蚀刻/灰分配方预先编程,以便在创建一批独特功能时提供一致性和灵活性。LAM RESEARCH TCP 9600SE配备了多头输送机单元、多通道控制机、高速晶圆映射工具等先进功能。多头输送机资产既利用滚筒输送机，又利用声传输子系统。滚筒输送机的尺寸可调节，以容纳各种尺寸的晶片。声学传输子系统的设计目的是在没有任何机械接触的情况下以非接触配置传输晶片。滚筒驱动器将减压空气供应到密闭腔室，使晶片在腔室内"浮动"。声波传输子系统由超声波振荡器驱动，驱动晶片通过振动管产生的声场。TCP 9600 SE配备了多通道控制模型，用于控制工艺参数和晶圆映射。光学映射的晶片映射允许将晶片精确定位在支持的盘片上。多通道控制设备还允许跟踪实时蚀刻和灰化进度，确保蚀刻/灰烬室条件在整个过程中保持最佳状态。集成到单元中的高速晶圆映射系统由激光供电，使得晶圆能够快速映射到支持的盘片上。存储的映射数据用于监视蚀刻和灰化过程的状态。制图机能够精确地定义每个晶片的精确尺寸及其在支撑盘上的相应位置，精度高达5微米。TCP 9600SE是一种功能强大的蚀刻器/asher,可精确控制整个蚀刻和灰化过程。它能够对各种材料进行高速映射和精确蚀刻/粉刷。它的自动化过程和精确控制工具确保了一致和可靠的结果。LAM RESEARCH TCP 9600 SE是高批量生产精密微电子零件的理想资产。