二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9235586 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款用于半导体制造行业的强大蚀刻器。它是一个功能齐全的平台，涵盖了整个蚀刻过程，从晶圆加载到过程控制、产品清洁和排放监测。该设备采用LAMAX气体输送系统，在高达60毫巴的压力范围内运行，从而能够精确控制蚀刻过程。该机器能够蚀刻最大晶圆尺寸为200毫米的基板，每晶圆的加工时间在3至30分钟之间。LAM RESEARCH TCP 9600SE包括高级软件组件,使其能够分析工艺参数并实现高精度蚀刻。这些组件包括基于光的探测器、电容电压扫描单元和高通量气体传感器。使用这台机器，用户可以调整工艺参数以获得所需的蚀刻结果。此外，该工具能够准确监测气体流量，以保持最佳蚀刻环境。TCP 9600 SE还包括内置诊断程序和工具,使其能够监视其性能。该机器利用先进的热控制资产，最大限度地提高吞吐量，同时最大限度地减少浪费和排放。它还具有触摸屏界面,可访问模型的所有功能。此外，蚀刻器还配备了精密的石英涂层设备，有助于保持腔室清洁并防止对腔室环境的污染。TCP 9600SE是一种高效的蚀刻器,它为半导体制造行业的用户提供了精确调整蚀刻过程的能力。该机具有强大的软件组件、出色的构建设计和先进的工具,为半导体制造商提供了获得高质量蚀刻结果的有效方法。