二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9243633 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9243633
晶圆大小: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种先进的蚀刻和灰分设备,专为高性能工业蚀刻而设计,能够为各种材料提供高通量和精密蚀刻。LAM RESEARCH TCP 9600SE将精密蚀刻技术与先进的可编程灰烬处理相结合,提供业界领先的结果。该系统专为高批量生产环境而设计,具有快速的处理速度、更高的灵活性和更高的生产质量。TCP 9600 SE具有62 x 40 cm的大工作区,具有可调节的单梁单元,允许精确蚀刻和精确的灰烬应用。该机器还包括高级自动化灰烬处理功能以及存储多个程序和配方以实现快速、可重复的过程的能力。该工具还配备了高品质的光学取景器和20微米分辨率和立体声效果能力,允许精确蚀刻和详细的灰分处理。除了先进的蚀刻和灰分功能外,TCP 9600SE还包括功能强大的流程控制资产,可提供完全可编程的实时流程控制模型。该设备允许操作员控制蚀刻深度、停留时间和灰分速率等蚀刻参数,以及灰分来源、温度和灰分浓度。该工艺控制系统还具有独立的温度和气体控制模块,具有精确的温度控制功能,可以精确调整蚀刻参数和结果。LAM RESEARCH TCP 9600 SE还设有车载气体输送装置,允许在整个机器中均匀、一致地分布蚀刻气体,最多可处理6种不同的蚀刻气体。该工具还提供一系列危险材料监测,确保资产及其组成部分的安全和质量。LAM RESEARCH TCP 9600SE是一种用途广泛、功能强大的蚀刻和灰烬模型,可提供工业级性能、快速设置和高质量的结果。该系统具有自动灰烬处理和过程控制设备,能够提供一致且可重复的蚀刻过程和结果,非常适合大批量生产环境。
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